合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源

合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源  GSL-1350-ISE

產(chǎn)品概述：

GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀，適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料，其高溫可達(dá)1350℃。采用磁流體密封，可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實(shí)驗(yàn)。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭，可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥，用于通入氣體對腔體進(jìn)行清洗和排氣，保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。

結(jié)構(gòu)&特點(diǎn)：

• 此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動和自動兩種模式。手動模式可以快速加大電流，達(dá)到快速加熱蒸發(fā)，但溫控性較差。自動控制控溫較準(zhǔn)確。

• 采用鎢線圈加熱，氧化鋁坩堝裝料，其高溫可達(dá)1350℃

• 精確控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可達(dá)+/- 1 oC

• Φ6.35mm進(jìn)氣口，可向蒸鍍腔體中通入氣體

• 電源：電壓：208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W

溫控系統(tǒng)&加熱源：

• 工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度：1200℃

• 500WDC蒸發(fā)電源，大電流30A

• 鎢絲加熱，S型熱偶測溫，氧化鋁坩堝裝樣

• 溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度：+/- 1 oC

• 建議升溫速率< 30 oC/min

• 若長期工作在800℃以上，必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙?？蓽p少鎢絲加熱元件的損耗。

樣品坩堝：

• 配有0.7ml的氧化鋁坩堝

• S型熱電偶嵌在坩堝底部，用于精確測量加熱溫度

進(jìn)氣口：

• 6.35進(jìn)氣口，用于向蒸鍍腔體中通入氣體

• 一個針閥安裝在進(jìn)氣口后端，用于控制其氣體流量

質(zhì)量認(rèn)證：CE認(rèn)證

合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源