合肥科晶 900℃小型RTP爐

合肥科晶 900℃小型RTP爐

產(chǎn)品概述：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（大達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時控制爐子和顯示溫度曲線 。

主要特點(diǎn)：

·快速升溫，達(dá)50℃/s；快速降溫，大117℃/min。

·超大管徑φ110mm。

·溫度可達(dá)900℃。

·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

·開門斷電。

合肥科晶 900℃小型RTP爐 基本參數(shù)：

·工作溫度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期)

·升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s

·降溫速率：60℃/min (<200 mtorr)，117℃/min (在一個大氣壓下)

·法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

·慢降溫速率10℃/min

·加熱區(qū)長度：190mm

·控溫精度：+/-1℃(歐陸表型溫控儀表可達(dá)0.1℃)

·加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW，圖1、2、3)

·熱電偶：可插入式的鎧裝熱電偶，進(jìn)口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下

·大功率：12KW(>60A 保險)

·設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相

·循環(huán)水流量:0.5 m3/h

·標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min

尺寸：

·760（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭關(guān)閉）

·1200（L）×330（W）×530（H） mm （法蘭打開）

重量：70Kg

認(rèn)證：所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。